SMC膜片阀高纯度工艺气体用AP15PA外形尺寸样本参数选型手册

SMC膜片阀高纯度工艺气体用AP15PA外形尺寸样本参数选型手册 特点： 用于半导体等需要高洁净度气体的行业。 可作为气体的切断阀使用。 接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。