SMC缝阀XGT31-1-2-3-4外形尺寸样本参数选型手册

SMC缝阀XGT31-1-2-3-4外形尺寸样本参数选型手册 特点： 在半导体装置等中、适合用作负载锁定室和搬送室以及搬送室和过程处理室之间的隔断阀。